1.湿法该方法是将锂盐溶于无水氢氟酸中形成LiF·HF溶液，然后通入PF5气体进行反应生产六氟磷酸锂结晶。经分离，干燥得到产品。

2.干法该方法是将LiF用无水HF处理，形成多孔LiF，然后通入PF5气体进行反应，从而得到产品。

3.溶剂法该方法是使锂盐与氟磷酸的碱金属盐、铵盐或有机胺盐在有机溶剂中反应，结晶，从而制取六氟磷酸锂产品。